等离子清洗原理及设备

        概述




：是正离子和电子密度大致相等的电离气体。由离子
、电子

、自由激进分子、光子以及中性粒子组成，是物质的第四态。人们普遍认为的物质有三态
：固态、液态








、气态

。区分这三种状态是靠物质中所含能量的多少

。给气态物质更多的能量

，比如加热
，将会形成等离子体，在宇宙中99.99％的物质处于等离子状态
。
清洗原理：通过化学或物理作用对工件表面进行处理



，实现分子水平的污染物去除（一般厚度为3～30nm），从而提高工件表面活性。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶
、氧化物
、微颗粒污染物等

。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺






，根据选择的工艺气体不同





，等离子清洗分为化学清洗

、物理清洗及物理化学清洗

。
化学清洗:表面反应以化学反应为主的等离子体清洗，又称PE


。 例1：O2＋e－→ 2O※ +e－
O※＋有机物→CO2+H2O 从反应式可见，氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2
。
例2：H2+e-→2H※+e
H※+非挥发性金属氧化物→金属＋H2O
从反应式可见，氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层
，清洁金属表面。
物理清洗
：表面反应以物理反应为主的等离子体清洗

，也叫溅射腐蚀（SPE）





。
例
：Ar＋e-→Ar++2e-
Ar++沾污→挥发性沾污
Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能
，然后轰击在放在负电极上的被清洗工件表面
，一般用于去除氧化物
、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物，同时进行表面能活化。
物理化学清洗

：表面反应中物理反应与化学反应均起重要作用



。

等离子清洗设备

        等离子清洗设备的原理是在真空状态下




，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，利用射频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子，然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去

，从而达到表面清洁活化的目的

。是清洗方法中为彻底的剥离式清洗
，其优势在于清洗后无废液

，特点是对金属、半导体

、氧化物和大多数高分子材料等都能很好地处理



，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗


。

等离子清洗在LED封装工艺中的应用

        LED封装工艺直接影响LED产品的成品率
，而封装工艺中出现问题的罪魁祸首99%来源于支架、芯片与基板上的颗粒污染物

、氧化物及环氧树脂等污染物
，如何去除这些污染物一直是人们关注的问题
，等离子清洗作为近几年发展起来的清洗工艺为这些问题提供了经济有效且无环境污染的解决方案
。针对这些不同污染物并根据基板及芯片材料的不同，采用不同的清洗工艺可以得到理想的效果，但是错误的工艺使用则可能会导致产品报废

，例如银材料的芯片采用氧等离子工艺则会被氧化发黑甚至报废
。所以选择合适的等离子清洗工艺在LED封装中是非常重要的
，而熟知等离子清洗原理更是重中之重
。

LED生产线上的纯水清洗与小型CDS自动供液补液

        我司开发的CDS系统在LED基板清洗过程中大大提高了人身和设备使用的安全系数






。自动化程度高

，持续24小时供液
，系统稳定性好






，无需人工干预，全程在线监测。机架采用防腐蚀PP包复SUS304结构，密封性好，所有配件及泵和阀



、接头

、过滤器等均采用海外高高纯氟类部件


。
        RO反渗透提纯处理，确保整个工艺的质量和洁净度


。