◎ 主体采用优质PP\PVDF\PVC\SUS等洁净材料及配件实行施工工艺；
◎ 根据用户环境不同设计合理的(包括台式 、嵌入式、手套箱式)方案 ；
◎ 适合于4-8英寸晶圆显影工艺 ，人机界面控制 ；
◎ 摆臂式自动多路显影喷液 ，去离子水，吹气功能·可根据不同工艺更换多种显影喷头 ；
◎ 转速可调范围:20-10000rpm ；
◎ 加减速度可调范围:0-50000rpm/s.转速精度:±1rpm ，可存贮100组100步涂胶程序 ；
◎ 外型尺寸:1500mm(宽)*1050mm(深)*2100mm(H) ；
◎ 系统设计包括洁净新风系统、废液收集系统以及黄光环境等各项指标 ；
◎ 系统设计去离子水、增压泵浦(可选件) 、CDA或氮气压力端子或管路装置 ；
◎ 工业伺服电机系统 ，性能稳定 ，满足工业化生产要求·可选显影液控温循环系统，增强工业稳定性·底部排废 ，顶部抽风功能 ；
◎ 应用范围 ：半导体化合物、集成电路和IC、光伏、LED 、TFT-LCD 、化工 、光子／光量子 、石化、科研院所或其他工业用户 ；
|
